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粉塵傳感器可監(jiān)測(cè)集成電路生產(chǎn)過(guò)程中遇到的污染物

     隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，許多工業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)加工對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的無(wú)塵車間工程中的粉塵濃度提出了很高的要求，這就要求生產(chǎn)環(huán)境具有一定的空氣潔凈度和 控制生產(chǎn)過(guò)程。 相關(guān)物質(zhì)的供應(yīng)質(zhì)量。 例如在膠片生產(chǎn)中，如果膠片沾染了灰塵，會(huì)使乳劑氧化，活性減弱，pH值發(fā)生變化，從而影響膠片的感光性能。 我們來(lái)看看半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)無(wú)塵室中使用的粉塵傳感器的解決方案。

      集成電路制造業(yè)是一個(gè)在超純環(huán)境中使用超純材料進(jìn)行超精細(xì)加工的行業(yè)。 半導(dǎo)體材料的提純是半導(dǎo)體器件發(fā)展的重要基礎(chǔ)。 由于大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的工藝要求，為了獲得高純度的硅材料，原材料和中間體的高純度以及高精度恒溫恒濕的生產(chǎn)環(huán)境的清潔度 工程已成為影響產(chǎn)品質(zhì)量的突出問(wèn)題。

  集成電路芯片的良率與芯片的缺陷密度有關(guān)，而芯片的缺陷密度與空氣中顆粒的數(shù)量有關(guān)。 因此，集成電路的飛速發(fā)展，不僅對(duì)控制空氣中粒子的大小提出了很高的要求，還需要進(jìn)一步控制粒子的數(shù)量； 同時(shí)，也與超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)環(huán)境中無(wú)塵車間項(xiàng)目的化學(xué)污染控制有關(guān)。 要求。

       集成電路生產(chǎn)中可能遇到的主要污染有：顆粒雜質(zhì)、無(wú)機(jī)離子、有機(jī)物、微生物、氣體雜質(zhì)。 廣義上講，不適宜的溫度、濕度、照度、過(guò)多的靜電、電磁噪聲、空氣噪聲、微振動(dòng)也是特殊污染物。 其中，當(dāng)顆粒雜質(zhì)、無(wú)機(jī)離子、有機(jī)物、微生物、氣體雜質(zhì)的含量超過(guò)一定限度時(shí)，會(huì)造成集成電路產(chǎn)品表面劃傷、圖案斷開(kāi)、短路、針孔、剝落，導(dǎo)致電路 漏電，電氣特性異常。 較輕的會(huì)影響電路性能和使用壽命，較嚴(yán)重的會(huì)導(dǎo)致電路報(bào)廢。

       針對(duì)這種情況，需要使用粉塵傳感器對(duì)半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)車間的環(huán)境進(jìn)行監(jiān)測(cè)，確保產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境達(dá)到潔凈標(biāo)準(zhǔn)。  Lovemay 推薦使用 LD13C 激光粉塵傳感器來(lái)感應(yīng)煙草、室內(nèi)灰塵等產(chǎn)生的煙霧和花粉。